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真空鍍膜機鍍膜的過程中，無時無刻都離不開粒子的運動，在這里的粒子包括電子、原子、分子、離子，當它們發生碰撞時的會發生各種各樣的互相作用，對于氣體粒子常常發生的是電離和激發。
譬如濺射真空鍍膜機中，是通過電子與氬氣分子相互碰撞產生氬離子。在電子碰撞氬氣之前處于高速運動的狀態，氬氣分子是單原子結構，電子與原子發生非彈性碰撞，電子所帶的動能傳遞到原子上，根據能量守恒定律，電子動能減少，原子內能增加，原子上的電子獲得能量后從低能級躍遷到高能級，激發原子，由原子基態變成激發狀態，不過這個時間非常短暫，可以說是一瞬間的事情，大約就可以維持10-7左右的時間。如果原子上的電子得到的能量足夠大，可以擺脫原子核的束縛，成為自由電子，原子由電子、中子和質子組成，電子是帶負電荷，中子不帶電，質子帶正電荷，原子中的電子電荷數和質子電荷數相等，所以原子都不帶電，但當電子擺脫束縛成為自由電子離開原子，原子的質子電荷數大于電子電荷數，使原子變成離子帶正電荷，靶材與電源陰極相接，帶正電荷的氬離子在電場的作用下，向陰極加速度運動。當氬離子與靶材上的原子相碰撞，有部分離子的動能轉移到原子上，原子被濺射出來，另外有部分離子與原子相撞后，原子上的電子轉移到氬離子上，使氬離子獲得所帶電荷數相等的負電子，還原為氬原子，金屬原子失去電子變成金屬正離子，并獲得部分動能。
這就是濺射鍍膜中氬氣粒子的運動過程，由原子變成離子，再由離子變成原子，反反復復的過程。
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