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| 真空鍍膜設備維修注意事項 |
| 發布時間：2025-05-12 瀏覽： 次 |
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一、維修前的準備工作 安全措施：確保設備完全斷電，并穿戴防護裝備(如手套、護目鏡)。 工具準備：備齊螺絲刀、扳手、萬用表等基礎工具，以及真空封泥、密封膠圈等耗材。 故障診斷：詳細記錄故障現象(如真空度異常、電氣報警等)，優先排查常見問題點。
二、常見故障及處理方法 1. 真空度問題 低真空異常：檢查機械泵油位(連續工作1個月需換油)、管道密封性及閥門狀態。若雨季濕度高，需縮短換油周期。 高真空不足：擴散泵若抽速下降，需清洗泵腔并更換擴散泵油(每6個月一次)，同時檢漏確認密封圈無老化或壓損。 2. 電氣系統故障 控制失靈：檢查電路板連接器是否氧化，用萬用表測試5V電源輸出是否穩定。 電子槍異常：若高壓無法啟動，需確認真空度是否達標(≥2×10?3Pa)，并檢查水流繼電器和門禁開關狀態。 3. 機械部件維護 旋轉部件卡頓：清潔后涂真空泵油潤滑，避免沙塵進入。 掩膜夾具故障：檢查翻轉信號線路、控制開關及機構動作流暢性，必要時校準修正板位置。 三、關鍵維修操作規范 檢漏流程： 分段檢漏：安裝部件后逐段測試，優先檢查法蘭連接處和動密封件。 氦質譜檢漏：先排查大漏孔(用低濃度氦氣)，再精細檢測小漏點。 應急處理： 突發斷電/斷水：立即關閉泵閥，啟用備用水源冷卻;若高溫狀態，需手動充氣保護(-0.02MPa)。 真空室污染：每200次鍍膜后，用NaOH溶液清潔內壁(注意防護)，再用清水和汽油徹底清洗。 四、日常維護建議 環境要求：保持車間溫度10~30℃、濕度≤70%，地面無塵(水磨石或涂漆地面)。 定期保養： 機械泵油每月檢查，半年全面清潔油箱。 監控片使用不超過3次，鍍膜前需嚴格清洗，避免新舊混用。 五、注意事項 禁止操作：未達真空度時禁止啟動電子槍;擴散泵未冷卻前不得充入大氣。 專業支持：復雜故障(如控制系統損壞)建議聯系廠商，避免自行拆解導致二次損壞。 通過規范維修流程和定期維護，可顯著提升設備穩定性，延長使用壽命。 |
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