技術中心
| 真空鍍膜設備真空測量 |
| 發布時間：2014-02-28 瀏覽： 次 |
|
真空測量是指用特定的儀器、對某一真空鍍膜設備空間內真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類很多，大體上可分絕對真空計和相對真空計兩大類。凡通過測定物理參數直接計出氣體壓強的真空計稱為絕對真空計。通過測量與壓強有關物理量，并進行計算得到壓強值的真空計稱為相對真空計。絕對真空計精度較高，一般作為標準用，在實際生產中，大都使用相對真空計。
相對真空計的校準，可用標準水銀真空計進行對比校準。在沒有水銀真空計的條件下，可進行滿偏和零位校準。滿偏校準是指在大氣壓條件下，把真空計調至滿偏，零位校準是指達到最高真空度進行調試或用未開封的玻璃真空規管進行校準（標準為5.5×10－3Pa）。
閱讀本文的人還閱讀：
|
  |