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| 真空鍍膜設(shè)備真空測(cè)量 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-02-28 瀏覽： 次 |
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真空測(cè)量是指用特定的儀器、對(duì)某一真空鍍膜設(shè)備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測(cè)量?jī)x表好壞直接影響設(shè)備正常運(yùn)行。真空計(jì)的種類(lèi)很多，大體上可分絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類(lèi)。凡通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接計(jì)出氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)稱(chēng)為絕對(duì)真空計(jì)。通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)物理量，并進(jìn)行計(jì)算得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)稱(chēng)為相對(duì)真空計(jì)。絕對(duì)真空計(jì)精度較高，一般作為標(biāo)準(zhǔn)用，在實(shí)際生產(chǎn)中，大都使用相對(duì)真空計(jì)。
相對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)，可用標(biāo)準(zhǔn)水銀真空計(jì)進(jìn)行對(duì)比校準(zhǔn)。在沒(méi)有水銀真空計(jì)的條件下，可進(jìn)行滿偏和零位校準(zhǔn)。滿偏校準(zhǔn)是指在大氣壓條件下，把真空計(jì)調(diào)至滿偏，零位校準(zhǔn)是指達(dá)到最高真空度進(jìn)行調(diào)試或用未開(kāi)封的玻璃真空規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)（標(biāo)準(zhǔn)為5.5×10－3Pa）。
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