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磁控濺射鍍膜時需滿足什么樣的條件?
發布時間:2014-03-24 瀏覽:  次

磁控濺射鍍膜時需滿足什么樣的條件?

  鍍膜的方法有很多種,真空鍍膜,真空蒸發鍍膜,還有離子鍍膜等等,但是最近一段時間比較熱門的磁控濺射鍍膜,好像很厲害的樣子,今天我們一起來聽聽真空鍍膜設備廠家東莞愛加真空來給我們介紹一下磁控濺射的原理吧!


  磁控濺射在放電的過程中,會離轟擊陰極產生二次放電,電子一班在陰極的位置電場下產生作用,然后與正在加速的氣體發生碰撞,這樣可以讓氣體分子維持放電狀態,因為電子在電場加速的軌跡一般都是直線,所以發生碰撞的幾率是很低的,如果我們在與電場垂直的方向加磁場,電子會成為與運動軌跡相同的擺線,在實際的磁控條件中,從陰極發出來的電子是有能量的,并且在很陰暗的地方電場是不均勻的,從陰極發射出來的電子運動軌跡都會形成不規則的擺線,我們稱為擺線運動,濺控濺射鍍膜機的靶子就是這個鍍膜的源頭,在運行過程中他必須滿足兩個條件,第一個是必須要有正交的電磁場,第二個是電磁場的防線必須要是平行的,并且在閉合的地方有水平磁場,從陰極發射出來的電子,會在陰暗地區活得能量,有了水平磁場的存在他就能直接飛向陽極,在接近軌跡的時候,電子軌跡的運動就會假唱,而且只有電子可以通過能量交換掏出磁場,在能量沒有完全交換之前,飛行一百米左右完成鍍膜,所以真空鍍膜機被稱為最快的濺射速度!    

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