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真空系統的一般分類是怎樣?
發布時間:2014-08-04 瀏覽:  次

  真空系統的形式一般可分為:低真空系統、中真空系統、高真空系統以及超高真空系統。

  低真空系統:這種真空系統的極限真空度在低真空范圍內,只需用機械泵給真空室排氣,系統比較簡單。

  中真空系統:這種系統應用比較普遍,許多應用設備都采用這種系統。如自耗爐真空系統、感應爐真空系統、熱處理爐真空系統等。中真空系統一般是由兩個以上的泵串聯組成的。

  高真空系統:高真空系統應用也比較廣泛。它的工作壓強范圍在6.67×10-2~1.33×10-3Pa。如鍍膜機、電子轟擊爐和部分電阻爐等,都采用高真空系統。

  超高真空系統:超高真空主要用于表面研究、熱核反應、高能加速器、半導體研究、空間模擬等科學領域中。

  由于這些現代科學技術發展的需要,大大促進了超高真空技術的發展, 目前超高真空實用真空度已達到10-12Pa。

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