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真空鍍膜設備中擋板閥的工作原理
發(fā)布時間:2014-08-07 瀏覽:  次

  真空鍍膜設備中真空擋板閥原理、使用范圍:真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿作上下運 磁動而實現(xiàn)密封的。

  驅使閥桿運動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動等三種方式。

  手動傳動部件,以螺紋結構為主,也可以采用平凸輪結構。

  手動兩用的傳動部件,由電執(zhí)、蝸輪、蝸桿組成的,并裝有行程開關。

  當接通電源后,電機按某一方向(如開啟方向)旋轉,通過蝸輪、蝸桿將閥桿帶動作向上運動使閥板上升,當閥板上升到一定高度時,行程開關自動切斷電源,閥桿運動立即停止,反之亦然。

  手動時,松開手輪背帽,用手按一定方向轉動手輪即可,氣動傳動部件以壓縮千操空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動汽缸活塞上下運動,帶動閥桿上下運動,使閥板開啟關閉,從而達到接通或停止氣流的目的。

  真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。

  適用壓力范圍:軸封為橡膠時,為105~1.3×10-4Pa;軸封為波紋管結構時為105~1.3×10-5Pa。

  工作介質溫度:-25~80℃ (密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。

  閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料T-腈橡膠或氟橡膠。超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。

  適用壓力范圍為105~1.3×10-8Pa等閥門開啟狀態(tài),烘烤溫度小于400℃,閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。

  這兩種真空擋板閥使用的工作介質為潔凈的空氣或對閥門無腐蝕的干凈氣體。

  不適用在對金屬有強腐蝕牲和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長期使用。

  高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點,形式多樣,規(guī)格齊全,通徑為150~120mm,結構合理等.

  因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中,如用于真空鍍膜設備,真空熱處理爐、真空釬焊,高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環(huán)模設備等。

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