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| 真空系統中殘余氣體如何處理？ |
| 發布時間：2014-08-24 瀏覽： 次 |
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從高真空及超高真空的角度來看，真空系統內的殘余氣體是一個必須引起注意的問題，殘余氣體往往造成真空系統內部的表面污染，從而達不到真空工藝所要求的結果 另外，對超高真空系統來說，殘余氣體的成分對系統的極限壓力往往產生重要影響，如果抽氣系統或抽氣的工藝文匯選擇不當，殘余氣體是影響其工作性能及壽命的重要因素。在實際工作中，不但要降低電真空器件中殘余氣體的量(真空度)，更要注意控制殘余氣體的質(氣體成分)。 因為電真空器件中殘余的O2、CO2、CO、H2O及碳氫化合物等有害氣體，會引起電真空器件的陰極“中毒”、高壓放電擊穿等有害現象。 殘余氣體Ar可能會使電真空器件內產生離子轟擊現象，從而損壞器件的陰極或其他部件。 殘余氣體的量多還會引起電子管的噪聲增高。 真空系統中的殘余氣體成分是與真空系統的作業各類及工藝(如鍍膜、金屬熔煉等)和所用的抽氣系統的類型有關，大致可分為以下幾種情況： 在低真空下使用的真空裝置中，殘余氣體主要為空氣(O2 N2……); 在只用油封機械泵連續進行長時間抽氣的真空裝置中，當無泄漏時，殘余氣體中有：有機物及水蒸氣 在用油擴散泵抽氣的高真空裝置中，殘余氣體中主要有：有機物和水蒸氣。 使用濺射離子泵抽氣系統，但不對真空系統進行特別的烘烤脫氣處理時，則殘余氣體中水蒸氣最多，另外還有H2，CH4，CO(或N2)、CO2等。 本文由愛加真空整理！ 相關閱讀 |
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