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| 離子鍍涂層技術分析 |
| 發布時間：2014-09-18 瀏覽： 次 |
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離子鍍膜機與蒸發鍍膜機、濺射鍍膜機相比，最大的特點是荷能離子一邊轟擊基體與膜層，一邊進行沉積。 荷能離子的轟擊作用所產生一系列的效應，主要有如下幾點： 1、膜/基結合力(附著力)強，真空蒸發鍍膜機膜層不易脫落。由于離子轟擊基體產生的濺射作用，使基體受到清洗，激活及加熱，既可以去除基體表面吸附的氣體和污染層，也可以去除基體表面的氧化物。離子轟擊時鏟射的加熱和缺陷可引起基體的增強擴散效應。 既提高了基體表面層組織結晶性能，也提供了合金相形成的條件。而且，較高能量的離子轟擊，還可以產生一定的離子注入和離子束混合效應。 2、離子鍍膜機由于產生良好的繞射性。車燈鍍膜機在壓力較高的情況下(≧1Pa)被電離的蒸汽的離子或分子在到達基體前的路程上將會遇到氣體分子的多次碰撞。 因此，可使膜材粒子散射在基體的周圍。從而改善了膜層的覆蓋性。而且，多弧離子鍍膜機被電離的膜材離子，還會在電廠的作用下沉積在具有負電壓基體表面的任意位置上。 因此，這一點蒸發鍍是無法達到的。 3、鍍層質量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度，濺控濺射鍍膜機改善膜的組織結構，使得膜層的均勻度好，鍍層組織致密，針孔和氣泡少。 因此，提高了膜層的質量。 4、沉積速率高，成膜速度快，可制備30μm的厚膜。 5、鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較廣泛。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。 由于等離子體的活性有利于降低化合物的合成溫度，多弧離子鍍膜機因此離子鍍比較容易地鍍制各種吵硬化合物薄膜。 由于離子鍍膜機具有上述特點，所以其應用范圍極為廣泛。利用離子鍍技術可以子在金屬、合金、導電材料甚至非導電材料(采用高頻偏壓)基體上進行鍍膜。 多弧鍍膜機沉積的膜層可以是金屬膜、多元合金膜、化合物膜;既可鍍單一鍍層，也可鍍復合膜層;還可以鍍梯度鍍層和納米多層鍍層。 采用不同的膜材，不同的反應氣體以及不同的工藝方法和參數，可以獲得表面強化的硬質耐磨鍍層，致密且化學性質穩定的耐蝕鍍層，固體潤滑層，各種色澤的裝飾鍍層以及電子學、光學、能源科學等所需的特殊功能鍍層。 離子鍍技術和離子鍍的鍍層產品已得到非常廣泛的應用。 推薦閱讀 |
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