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| 噴吹法真空檢漏技術分析 |
| 發布時間：2014-10-06 瀏覽： 次 |
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噴吹法是氦質譜檢漏儀最常用，最方便的一種檢漏方法。 檢漏時首先預抽被檢件，并調整檢漏儀，使其處于正常的工作狀態;然后開啟檢漏儀節流閥，使被檢件與檢漏儀連通，調整好檢漏儀，使其處于待檢漏狀態;用噴槍(或噴嘴)在被檢件可能存在漏孔的部位噴吹氦氣。 噴吹一定時間后，檢漏儀即可指示出被檢件是否存在漏孔及漏孔的漏率。 檢漏時，噴吹示漏氣體時間要適當，太短時檢漏靈敏度低，太長時檢漏效率低。如果要求檢驗靈敏度為qldmin;當檢漏儀接在高真空側時，其噴吹時間ts，可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得為 ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ)) 當檢漏儀接在前級真空側時，可求得 ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ)) 噴槍移動速度U與噴嘴直徑d及噴吹時間ts有如下關系 υ=10d/ts 檢漏時，以式(15-26)計算的移動噴槍速度進行噴吹時，較為合適。 噴吹法檢漏可采用標準漏孔比對法確定漏孔漏率。若已知一標準漏子L的標稱漏率為qLo，將其設置在與被檢漏孔基本相當的位置，用氦噴吹醛的輸出信號為J。，而用相同示漏氣體在同樣條件下噴吹被檢漏孔時，其輸出信號為I，則被檢漏孔的漏率為 qL=I/Is×qLo 噴吹法檢漏時應注意的問題是： (1)由于氦氣輕，噴吹檢漏時，應從被檢件上方開始檢漏，逐漸向被檢件下方移動噴槍;由靠近檢漏儀處檢漏逐漸移至遠處;先用大氣流粗檢找出漏孔所在區域后，再用小氣流精檢以找出漏孔的確切的位置。 (2)當存在兩個相距很近的可疑漏孔時，應注意噴槍噴出氦氣流方向(或蓋住一個漏孔點)進行檢漏。 (3)檢出的漏孔應復查。 (4)檢漏場地要有良好的通風條件，但不得影響噴槍噴出的氦氣的流動的方向。 本文由愛加真空收集整理，我公司是專業提供進口真空鍍膜機銷售、維修;polycold銷售和維修的企業，為廣大客戶提供真空鍍膜全套最優解決方案，歡迎來電咨詢洽談! 推薦閱讀 |
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