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| 離子真空泵檢漏知識 |
| 發布時間：2014-10-14 瀏覽： 次 |
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離子泵檢漏法的基本原理與電離真空計檢漏法類似，是利用示漏氣體進入離子泵時，泵電流將發生變化的特性進行工作的，根據這種變化，可檢測出真空系統的漏孔，并可估算漏孔的大小。 在使用帶有離子泵的抽氣系統，或把被檢件接到離子泵抽氣系統上去時，人們可以在任何時間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對系統或被檢件進行檢漏。 這種檢漏方法無須額外儀器，既靈敏又簡便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。 檢漏裝置如圖離子泵檢漏裝置示意圖所示。首先將離子泵抽空，抽到較低壓力后關閉閥門2，使離子泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件，用前置泵排氣，當真空度達到1～10-1 Pa時，關閉閥門4并打開閥門2，用離子泵抽氣。 當達到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處，如噴吹到漏孔處時，示漏氣體就會進人系統，使離子泵的放電電流指示迅速上升，這是因為泵對氬氣抽速較低的緣故。 當用氫或氧來檢漏時，將會引起泵電流的下降，因為離子泵對這些氣體的抽速比對空氣的抽速大。 這種方法的靈敏度為10-4～10-9Pa·m3·S-1。根據漏孔的大小，可以調節閥門2和4的開啟程度實現其檢漏效能。檢漏時須注意其靈敏度與壓力成反比，因此應盡量在較低的平衡壓力下進行檢漏;示漏氣體最好經過凈化處理。 該方法與氦質譜檢漏儀相比較具有以下特點： ①造價低，結構簡單，用一般無油系統即可; ②不存在燒斷燈絲的問題; 本文由愛加真空(http://www.bnzr.net.cn)收集整理，我公司專業銷售美國野馬真空系統，歡迎來電咨詢! 推薦閱讀 |
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