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| 真空鍍膜機離子泵維修要點？ |
| 發布時間：2023-04-10 瀏覽： 次 |
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離子泵是一種可以應用于超高真空下的清潔無油真空泵，以下離子泵維修內容僅供學習。 一、關于烘烤。 濺射離子泵如果長期暴露于大氣中，會因為泵內的鈦沉積層吸附水汽，導致泵啟動困難、極限壓力升高、抽速變小等問題，因此啟動前需要經過烘烤。烘烤時需要將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下，緩慢升溫至250～300℃，然后恒溫12小時，并且保證烘烤時泵內真空度不低于0.1Pa。 二、清洗處理。 離子泵如果受過油蒸氣或者其他有機物污染，陰極板氧化或大量排過氫氣，會影響到它的真空度。這時一般會在烘烤除氣后再進行氬清洗處理。 過程是用氬離子轟擊鈦板，將陰極板上的污染物或溶解在陰極板里的氫轟擊出來，再被大量濺射的鈦所吸收或埋葬掉。充氬壓力維持在10-2Pa量級或觀察離子流維持早10～200mA之間擺動。整個清洗過程大約在1～2小時。 三、使用壓力與壽命。 離子泵的濺散率取決于轟擊的離子數與能量，壓力越高，陰極濺射越劇烈，因此它的使用壽命是與工作壓力成法比的。所以雖說濺射離子泵的工作壓力范圍可以從1Pa到10-10Pa，但為提高濺射離子泵的使用壽命，盡量不要在10-2Pa以上的壓力范圍下工作。 |
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