技術(shù)中心
| 真空鍍膜機(jī)離子泵維修要點(diǎn)？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2023-04-10 瀏覽： 次 |
|
離子泵是一種可以應(yīng)用于超高真空下的清潔無油真空泵，以下離子泵維修內(nèi)容僅供學(xué)習(xí)。 一、關(guān)于烘烤。 濺射離子泵如果長(zhǎng)期暴露于大氣中，會(huì)因?yàn)楸脙?nèi)的鈦沉積層吸附水汽，導(dǎo)致泵啟動(dòng)困難、極限壓力升高、抽速變小等問題，因此啟動(dòng)前需要經(jīng)過烘烤。烘烤時(shí)需要將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下，緩慢升溫至250～300℃，然后恒溫12小時(shí)，并且保證烘烤時(shí)泵內(nèi)真空度不低于0.1Pa。 二、清洗處理。 離子泵如果受過油蒸氣或者其他有機(jī)物污染，陰極板氧化或大量排過氫氣，會(huì)影響到它的真空度。這時(shí)一般會(huì)在烘烤除氣后再進(jìn)行氬清洗處理。 過程是用氬離子轟擊鈦板，將陰極板上的污染物或溶解在陰極板里的氫轟擊出來，再被大量濺射的鈦所吸收或埋葬掉。充氬壓力維持在10-2Pa量級(jí)或觀察離子流維持早10～200mA之間擺動(dòng)。整個(gè)清洗過程大約在1～2小時(shí)。 三、使用壓力與壽命。 離子泵的濺散率取決于轟擊的離子數(shù)與能量，壓力越高，陰極濺射越劇烈，因此它的使用壽命是與工作壓力成法比的。所以雖說濺射離子泵的工作壓力范圍可以從1Pa到10-10Pa，但為提高濺射離子泵的使用壽命，盡量不要在10-2Pa以上的壓力范圍下工作。 以上內(nèi)容由真空鍍膜機(jī)廠家愛加真空收集整理自網(wǎng)絡(luò)，僅供學(xué)習(xí)和參考! |
  |